产品分类
线性马达系统

您当前的位置:首页>线性马达系统>LMG2A

LMG2A
    产品名称:LMG2A

    产品介绍:

    产品特征:

    最大行程4m x 4m 
    以线性滑轨或空气轴承架构之定位平台良好接地设计防止杂讯干扰 Z向震动可达奈米等級以下最大速度可达5m/s 标准重現精度1um或以下位置回馈系统解析度最低可达50nm


    产品应用:

    半导体设备
    自动化搬送
    FPD设备
    太阳能制造设备 
    PCB设备
    水刀设备
    钻石切割设备 
    AOI检测设备
    工具机